MEMS是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。
用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生产等特点。同时，MEMS传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号；而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此形象地被称为智能传感器。
1980年，第一个MEMS传感器推出，重量、湿度、加速度计、压力、麦克风等MEMS传感器不断出现，其种类繁多，一般分为MEMS物理传感器、化学传感器、生物传感器三大类。详见下图：
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